製品紹介 UV・キセノンランプ関連

当社のUVランプは、半導体デバイス・フラットパネルディスプレイ・プリント配線板などのフォトリソグラフィー工程において、露光装置のUV光源として使用されます。
平行光による露光処理に最適な輝線スペクトル(365nm、405nm、436nm)を放射する高輝度点光源ランプです。

取り扱いの注意事項

警告

  • 点灯中のランプを直視しないでください。ランプは高輝度で紫外線も出ているため、目を傷めます。
  • 点灯中のランプからの光を直接皮膚にあてないでください。皮膚の炎症を起こす原因となります。
  • 点灯中または消灯後しばらくはランプに近づかないでください。火傷の原因となります。
  • 点灯中または消灯後しばらくはランプに紙や布などの燃えやすいものを近づけないでください。火災の原因となります。
  • ランプ点灯の際には、極性を間違えないようにご注意ください。極性を逆にして点灯してしまうと使用不能になってしまいます。
  • ランプ点灯は必ず専用灯具と専用電源をご使用ください。適合しない器具の使用は破損の原因となります。ランプの脱着や器具清掃の際は、必ず電源を切ってください。感電の原因となります。

注意

  • 本製品はガラス製品のため、強い衝撃を加えたり傷をつけたりしないようご注意下さい。また、ねじり・曲げなどの力を加えないでください。
  • 寿命もしくはそれ以前でのランプ交換を推奨します。寿命を超過しますと石英ガラスの強度が低下し、稀に破損することがあります。
  • 電流、電圧、冷却などの使用条件は厳守してください。ランプ破損、短寿命の原因となります。

半導体向けUVランプ

半導体デバイス製造分野におけるノンクリティカル配線パターン形成用途。照度の劣化が少なく、スループットの安定化に適しております。

仕様

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フラットパネルディスプレイ向けUVランプ

フラットパネルディスプレイ製造分野におけるファイン配線パターン形成用途。 大画面化に対応するための超大型ランプ製作技術を誇ります。

仕様

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プリント配線板向けUVランプ

プリント配線板製造分野におけるファイン配線パターン形成用途。
多くの装置メーカー様に純正品として納入している高品質ランプです。

仕様

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UVランプ取扱い上の注意

  • ランプ点灯中は強力な紫外線を放射し、ランプ内の圧力が高くなります。必ずランプハウスの中で点灯してください。
  • ランプ点灯中は、絶対に肉眼で直視しないでください。強力な紫外線により目を傷める危険性があります。
  • ご使用前にはアルコール類で汚れを拭き取ることを推奨します。指紋や異物などの汚れが付着していると、トラブルの原因となります。
  • ランプは両方の口金を固定すると、点灯中の熱膨張により破損する危険性があります。取付の際には、片側が2~3mm可動出来る構造にしてください。
  • UVランプは垂直点灯の仕様です。UP表示のある口金を必ず上にしてください。また、接続の際は極性にご注意ください。極性を間違えると、破損などのトラブルの原因となります。
  • 接触不良によるトラブルを予防するため、ランプ取付の際には必ずランプの端子とランプハウスの端子が酸化・変色していないことをご確認ください。
  • ご使用済みのランプは、産業廃棄物として必ず認可を受けた処理業者に処理の依頼をしてください。ランプには高圧ガスや水銀などが封入されているため、怪我や環境破壊の原因となります。

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