製品紹介 ファイバー式膜厚モニタ

測定データ例

測定スペクトルと膜厚短期再現性の例

SiO2 on Si 単層膜 測定例 (タングステンハロゲンランプ仕様)

注:GOFは、Goodness of Fitの略で測定スペクトルと計算スペクトルの適合度を数値化したものです。

評価条件:テストウェハを固定した状態で30回連続測定したときの3σ値
測光時間:1秒以下
ウォームアップ:1時間
環境温度:24.1℃±0.2℃

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