製品紹介 ファイバー式膜厚モニタ

特徴

光干渉法を用いた、多層膜測定可能な小型プローブの膜厚モニタです。
メンテナンス性に優れ、機器内の組み込みやライン管理用途としても利用できます。
例えば、成膜プロセス中のインラインモニタやエンドポイントモニタとして使えます。
また、ポリシリコンの結晶性評価やポーラス膜の密度評価としても適用可能です。

高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に
取り付け可能です。
また、プローブから本体へは光ファイバのみにて接続しているため、
耐環境性に優れます。

  • 有効媒質近似(EMA)法による混合層の混合率算出
  • 結晶性評価光学定数解析

光源タイプ

波長範囲(nm)

平均寿命(Hours)

白色LED

430~700

>50,000

タングステン・ハロゲン

400~900

10,000

重水素・ハロゲン

200~1,000

1,000

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