ファイバー式膜厚モニタ

特 徴

光干渉法を用いた、多層膜測定可能な小型プローブの膜厚モニタです。
メンテナンス性に優れ、機器内の組み込みやライン管理用途としても利用できます。
例えば、成膜プロセス中のインラインモニタやエンドポイントモニタとして使えます。
また、ポリシリコンの結晶性評価やポーラス膜の密度評価としても適用可能です。

(1)小型ファイバープローブ

高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に取り付け可能です。
また、プローブから本体へは光ファイバのみにて接続しているため、耐環境性に優れます。

【 注意 】

対象面からプローブまでのl距離は、1mmから70mm程度を推奨します。 測定領域は約3mmφとなります。
(オプションで1mmφ、0.5mmφのアタッチメントを用意。)

プローブから本体までのファイバー長は標準で2mです。プローブのカバーサイズは、50x34x22(mm)です。

(2)膜厚測定再現性 0.1nm以下(3σ)

【 注意 】

30nm以上1000nm未満のSi基板上のSiO₂単層膜において、0.1nm(3σ)以下。 1000nm以上のSi基板上のSiO₂単層膜において、0.01%(3σ)以下。
測光時間1秒以下。ただし、下記の推奨設置環境条件を満足すること。

また、測光時間は1msecまで短縮可能ですが、それに応じて測定再現性は低下します。

(3)多層膜同時測定 最大9層膜対応

【注意】

同時測定可能な層数は、実際の膜構造及び測定波長域に依存します。

(4)膜質解析機能

  • 有効媒質近似(EMA)法による混合層の混合率算出
  • 結晶性評価光学定数解析

【注意】

有効媒質近似法および誘電関数による関数近似法を採用しています。 なお、100nm未満の膜厚の薄膜においては解析が困難になります。

また、薄膜材料、基板の光学定数は、文献等で公開されている数百種類のデータが予め用意されています。

(5)目的によって選べる光源

光源タイプ 波長範囲(nm) 平均寿命(Hours)
白色LED 430~700 >50,000
タングステン・ハロゲン 400~900 10,000
重水素・ハロゲン 200~1,000 1,000

【注意】

対象膜厚と要求精度によって最適な光源は異なります。
   

【推奨環境条件】

温 度 :セットポイント 18~45℃の範囲内

長期変化:±2.0℃/24時間以上 (基準セットポイント)

短期変化:±1.0℃/1時間×1周期 (基準セットポイント)

湿 度 :45%±20% (結露無き事)